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　　公開（公告）號：CN201018960 公開（公告）日：2008.02.13

　　主分類號：A41D1/00（2006.01）

　　分類號：A41D1/00（2006.01）；A61B5/02（2006.01）

　　申請（專利權）人：華中科技大學

　　地址：430074湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號

　　國省代碼：湖北；42

　　發(fā)明（設計）人：劉勝；張鴻海；蒙茂洲；徐涌；甘志銀

　　專利代理機構：華中科技大學專利中心

　　代理人：曹葆青

　　摘要：本實用新型公開了一種基于MEMS的智能服裝，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來實現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS技術分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結構。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對其進行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對傳感器的保護作用，縫紉孔可用于讓導電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特定功能的智能服裝。本實用新型采用MEMS制作工藝，重復性好，可靠性高，可大批量制造，成本較低，具有廣泛的應用前景。

　　主權項：一種基于MEMS的智能服裝，其特征在于：該智能服裝上設置有柔性傳感器陣列，該柔性傳感器陣列包括柔性襯底（1）、若干個硅島（2）和聲/電換能器（3），柔性襯底（1）分為上柔性襯底（1a）和下柔性襯底（1b），硅島（2）和聲/電換能器（3）呈陣列式分布設置在柔性襯底（1a）和下柔性襯底（1b）之間，硅島（2）與聲/電換能器（3）通過金屬線路（5）實現(xiàn)電氣互聯(lián)，各硅島（2）和聲/電換能器（3）的四周均設置有縫紉孔（4），導電纖維（6）穿過縫紉孔（4）將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品（8）縫合于一體；硅島（2）的結構為：硅基底（19）上開有焊盤（9），焊盤（9）的引出線與金屬線路（5）的一端相連，導電纖維（6）與焊盤（9）之間點膠有導電膠（7）；聲/電換能器（3）的結構為：硅基底（18）上開有空腔（10），空腔（10）上面設置有懸臂梁（11），懸臂梁（11）由下述薄膜層依次疊置構成：支撐層（12）、粘結材料層（13）、下電極（14）、聲/電換能材料層（15）、吸聲材料層（16）和上電極（17），其中，下電極（14）和上電極（17）構成金屬線路（5）。

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